单自由度主动隔振仿真模型和控制算法

主动隔振台通常为多自由度系统，通过解耦手段后可以视为多个单自由度系统。本文针对实际对象的多种特性进行建模，并简易说明部分控制算法的特性。本文采用MATLAB进行建模，使用SIMULINK进行仿真。仿真对标实际应用场景，采用5kHz采样率。欢迎各位同僚可以采用本文提供的模型进行控制算法的设计与验证，如果具有比较好的效果，可以在我们的实验平台上进行验证。本文的资源平台自由设置为VIP下载，没有VIP的可以邮件联系我们获取。同时欢迎从事主动隔振的相关研究的同僚联系我们交流分享。

1 单自由度模型

本文针对的实验平台采用加速度传感器，所以模型建立均采用加速度输出，主要考虑加速度传感器自身的谐振特性，实验平台的低频特性与柔性特性。

1.1 理想模型

理想的单自由度系统通常表现为二阶MCK模型，

考虑执行器与传感器后的主动隔振框架可以表示为

对于控制器来说，从输出到输入建立理想单自由度的传递函数，形如

模型所用的MCK参数对标实际系统，该传递函数的波特图如下所示

1.2 加速度传感器谐振特性

理想的加速度采样能够获取对象真实的加速度情况，然后实际系统不可避免存在噪声，零漂和谐振的特性，其中噪声和零漂无法用传递函数进行描述，故此处仅考虑传感器的谐振特性。按照实验平台所使用的加速度传感器的参数手册，将谐振特性考虑在控制对象中，得到波特图如下

1.3 实验平台低频特性

在课程学习中我们通常采用二阶系统作为控制对象，因为具有普适性，有利于学习。然而实际系统通常并不完全表现成二阶系统的特性。通过实验结果的拟合，我们发现仅采用二阶系统没法很好的拟合系统的低频特性，故在此基础上提出了低频特性的优化模型。

1.4 实验平台柔性特性

同样的，在课程学习中我们通常不会考虑系统的柔性特性。在控制要求不高，系统对象特性很好的情况下确实如此。当我们探索系统极限性能的时候不可避免的需要考虑柔性模态的影响。实际的柔性模态具体有无穷高的维度，但是对控制影响较大的主要是前几阶模态，本文考虑了系统前五阶模态特性，建立考虑柔性的系统模型如下

1.5 仿真模型

上述的各个模型分别在二阶的基础上考虑的不同的影响因素，在做研究的时候通常可以针对性的选择模型进行仿真分析，但是面对实际实验的要求，则需要考虑所有因素，最终的控制对象需要针对实验台进行模型辨识获取。将所有引入考虑在内的模型如下

1.6 模型的导入

把模型文件放在同一文件夹下，在脚本中引用，即可引用

clearvars;
close all;
clc;

%控制对象导入
run Model.p

2 主动控制算法

加入主动控制后，隔振系统的振动传递率将能通过控制进行调制，从而实现更优的控制效果，本文主要尝试了基于天棚阻尼设计的PID控制[1]与LQR算法的主动控制效果。

[1] Sun Y, Dang S, Cheng W, et al. A high-gain skyhook damping control method based on a high-quality excitation spectrum identified model[J]. Journal of Vibration and Control, 2025: 10775463251362528.

在进行算法特性分析的时候我们采用最简单的理想二阶模型进行仿真验证，其用于描述控制器的特性。LQR从最优控制出发，其通过不同的权重能够调节控制效果。其控制特性主要是针对系统主频位置。天棚阻尼则是从机械系统出发，用控制器模拟实际不存在的绝对阻尼项，其在改进主频位置振动特性的同时也能改善高频的振动特性。

当然，实际的振动传递率不会像仿真一样理想，考虑到建模中的其他各种因素，通常控制器中都需要加入高通，低通，陷波滤波器等。这里仅从控制器本身的特性进行阐述。

3 地面扰动特性

对于半导体相关的隔振任务来说，主要考虑的就是地面振动。另外还有其他设备带来的扰动，风机等的谐波扰动和运动平台的扰动等会在后续的研究中提及。本文采用目前实验场景测试得到的地面扰动作为扰动源进行仿真，实验室所处环境目前的地面振动级别接近VC-C

4 仿真框架

利用SIMULINK进行仿真，设置仿真为定步长，采样时间0.0002s。受控对象采用LTI System模块进入，地面振动采用From Workspace模块导入，仿真数据通过To Workspace导出，即可在SIMULINK中完成主动控制的设计与仿真。

在理想模型的情况下，隔振效果如下

如果采用更加接近于实际的模型，则需要采用回路整形的手段进行控制器稳定设计，最终的控制效果也会如理想模型那样理想