800%可拉伸智能热疗贴片

基于超可伸展柔性铜互连的自适应热疗智能贴片

互联网与智能电子设备的互补发展正在催生一种新的应用范式：面向智慧生活和可持续未来的先进医疗设备。[ 1–5] 因此，将传统电子设备转型为柔性与可拉伸电子器件对于与人体集成的电子设备至关重要。在美国，包括三十万儿童在内的五千万人患有关节炎。作为治疗手段，他们通常使用热疗：市面上常见的基于化学的止痛贴片根据疼痛部位有不同的尺寸，但不可重复使用，加热范围有限，不适用于儿童，仅能有效数小时，整体使用寿命短，并且容易产生副作用（皮肤刺激、过敏）。在世界贫困地区，这些产品价格昂贵且大多无法获得。作为一种有效的替代方案，可用于热疗的无线可控加热器应运而生。尽管基于薄膜的热加热器已被用于其他用途，但由于其固有的刚性和有限的可拉伸性，它们在人体上的应用受到限制。因此，迫切需要开发能够在承受大应变（>100 %）数百次循环后仍保持其电学和热学性能的稳定电子设备。

由于目前大多数用于电子设备中的材料体系本身不具备可拉伸性，必须采用创新设计理念以使其适应大变形。特别是，铜线在先进的电子设备中常被用作互连器件。由于铜的屈服应变为20%–25%，[ 6,7] 铜互连在可拉伸电子器件中的应用受到限制。这促使人们日益关注可拉伸导体的开发。[ 8–25] 本文展示了一种前所未有的800%可拉伸、低成本、基于金属薄膜铜（Cu）的柔性、非侵入式、与人体集成、空间可调、移动式热加热器，具备无线控制能力、适应性（可根据肿胀部位的温度调节加热量）、可重复使用性以及经济实惠等优点，得益于低成本的互补金属氧化物半导体（CMOS）兼容集成。

相较于以往主要采用的可拉伸电子器件演示，涉及一维纳米线或二维石墨烯的聚合物或复合材料基系统，用于可拉伸互连、电极、集成电路、发光二极管、超级电容器、人工皮肤等，[ 8–38] 我们的设计通过精心的工程结构设计，在铜薄膜中吸收变形应变，显著提高了加热器的可拉伸性，同时对其低电阻无任何影响。

该加热系统可非侵入式地应用于人体进行热疗。热疗，即利用热处理进行疼痛管理，自古代以来一直被使用。[ 39,40] 表层热处理是治疗骨关节炎最广泛使用的物理疗法之一。[ 41] 热疗已被证实对治疗关节炎、癌症等多种严重疾病具有积极作用。[ 42–45] 根据疼痛部位和空间需求，本研究中报道的设备可被拉伸并恢复至原始形态。薄膜的金属特性使其具有更长的使用寿命，并可重复使用。此外，通过集成网络技术（如先进的蓝牙技术）和电池，该设备成为一种完全移动集成、低成本的智能电子系统，可通过智能手机或移动设备实现精确温度控制。因此，具有拉伸功能的柔性智能热电子系统的开发使其可在全球人群中日常使用，包括从患有关节炎的患者到运动员和士兵，用于缓解身体和肌肉疼痛、拉伤和扭伤，乃至更复杂的癌性肿瘤细胞破坏。

由于铜在先进的CMOS技术中用于金属互连，因此与CMOS工艺兼容。然而，由于铜本质上是不可拉伸的，[ 6,7] 我们采用横向弹簧设计引入了延展性。热疗贴片的设计如图1a所示。为了展示该设计的可扩展性，我们通过缩放设计参数 λ （= 100和200微米）制造了两种版本的设计。图1a中弯曲结构的总长度（L t ）为78.35λ，而弹簧的横向长度（L l ）仅为10λ。当弹簧被拉伸至其最大容量时，弹簧的横向长度约等于其总长度。因此，我们报告单个弹簧的最大延展性约为800 % L = ⎛ ⎝ ⎜ ⎞ ⎠ ⎟ 7 L t l.835。

为了展示可拉伸铜导体的应用，我们设计了一种可拉伸热疗贴片（图1 b,c）。加热垫不参与拉伸，其横向长度恒定为20λ，互连器件的长度为5λ。弹簧两侧的这一长度在拉伸前后均等地增加横向长度，因此设备级别的可拉伸性由以下公式给出：

$$
\frac{78.35 \lambda}{2} + 20\lambda + \frac{5\lambda}{2} + \frac{5\lambda}{2} + 20\lambda + \frac{5\lambda}{2}
$$

$$
\frac{10\lambda}{2} + 20\lambda + \frac{5\lambda}{2}
$$

因此，包含加热垫后，系统的总拉伸能力达到270%。

我们受到近期柔性先进医疗材料及其应用迅猛发展的启发。同时，我们坚信传统电子设备的转型，[ 46 ] 以及持续利用其制造工艺，将成为真正技术进步及相关社会和经济影响的关键催化剂。因此，我们采用先进的CMOS兼容工艺直接制造使用聚酰亚胺（PI）表面铜线的热疗贴片，使其成为一种无转移工艺。在具有1微米厚非晶硅牺牲层的热氧化晶圆上旋涂一层4微米厚的PI层。然后使用铝作为硬掩模和O₂等离子体将PI刻蚀成横向弹簧设计。随后在PI上沉积铜电镀所需的种子层，并电镀出4微米厚的铜线。利用氩等离子体去除种子层，并通过基于XeF₂的气相蚀刻法去除非晶硅牺牲层以释放设备。图1d展示了该工艺流程的示意图。该工艺流程不会影响用作器件制造起点的氧化硅基底，因此在经过RCA清洗之后可重复使用基底，大幅降低生产成本。铜线和PI层的厚度被设计为相同，使得弯曲时的中性轴位于铜/PI界面处。因此，即使在弯曲时，两种材料的界面也无应力作用。

可拉伸侧向弹簧的设计提供了高达800%单轴拉伸能力。b) 该设计可通过缩放参数λ进行缩放，以获得不同尺寸的设备。在本研究中， 我们制备并表征了λ = 100微米和λ = 200微米的设备。加热垫为尺寸20λ的正方形。两种情况下的接触垫均为2 × 20毫米 2 。c) 加热垫上的铜线 （绿色）布置方式旨在最大化导体的长度，从而提高电阻。聚酰亚胺垫具有直径为100微米的孔，间距200微米（中心到中心），以减少XeF 2 气体相释放所需时间。比例尺为1毫米。d) 热疗贴片制造所遵循的工艺流程。结构中的孔（沟槽）可允许空气流动。)

释放后的热疗贴片的光学图像如图2 a,b所示（分别为λ = 100微米和λ = 200微米）。图2c显示了热疗贴片（λ = 100微米）在人体皮肤上的应用，具有200%的横向应变。图d–h显示了λ = 200微米的热疗贴片在人体皮肤上的应用。其中，图2d中的贴片无应变，而图2e中的贴片处于150%的单轴应变下。图2f中的贴片处于双轴应变下，具有横向和纵向应变均为150%。图2g–i显示了所制备的热疗贴片在弯曲半径低至0.5毫米时的柔韧性。范德华力实现了贴片在皮肤上的共形贴合。图2j,k展示了该热疗贴片与现成医用贴片（WellPatch Cap-saicin Pain Relief Patch）的对比。在图2k中，热疗贴片具有200%的应变。

热疗贴片在释放后分别对应λ = 100 μm和λ = 200 μm的光学图像。c) 将热疗贴片（λ = 100 μm）应用于人体皮肤，横向应变为200%。d–f) 将热疗贴片（λ = 200 μm）应用于人体皮肤，在无应变（d）、150%单轴应变（e）以及150%横向和横向应变（f）条件下的情况。g) 热疗贴片保形弯曲包裹在肘关节周围（弯曲半径6.3 cm）。h) 热疗贴片缠绕在两个手指上（弯曲半径0.96 cm）。i) 热疗贴片缠绕在硅片上（弯曲半径≈0.5 mm）。j,k) 热疗贴片与现成医用贴片（WellPatch 辣椒素止痛贴）的对比，其中热疗贴片在(k)中具有200%应变。所有比例尺均为2 厘米。)

横向弹簧在单轴拉伸应变下的机械性能总结于图3中。我们报道了单个弹簧的最大延展性约为800%（图3a,b）。这转化为设备的整体最大延展性约为300%。然而，我们观察到该最大延展点不可逆。弹簧的弹性极限约为600%。在高达600 %的应变下经过100次循环后，弹簧仍能恢复至原始状态（图3c,d）。所获得的弹簧力‐伸长曲线与文献中报道的超弹性类橡胶材料非常相似。[ 47–50 ] 因此，横向弹簧设计使铜薄膜表现出超弹性行为。对于可拉伸导体而言，关键在于设备的电阻不随施加的应变以及应变循环而变化。实验观察到热疗贴片的电阻几乎不随应变变化——在弹性极限内仅变化2%–3%。这主要是由于横向弹簧系统的设计所致。施加的应变被弹簧结构的变形所吸收（图3e,f），因此铜互连在任何时刻均未承受应变。

横向上的弹簧伸长与施加的力，以及电阻作为第一次拉伸循环中伸长的函数，分别对应λ = 200 μm 和λ = 100 μm。在首次伸长循环之后，电阻值保持恒定。屈服点用“x”标记。插图：弹性极限内的弹簧伸长与施加的力的关系。c,d) 上图显示了拉伸循环开始前的弹簧状态，分别对应λ = 200 μm 和λ = 100 μm。中图显示弹簧完全拉伸（800% 弹簧伸长）。下图显示弹簧在经历100次600%伸长循环后（在弹簧的弹性极限内）的状态。比例尺为1 cm。e,f ) 受应变弹簧的扫描电子显微镜图像，分别对应λ = 200 μm 和λ = 100 μm。比例尺均为2 μm。g,h ) 铜互连表面在施加应变（600%）之前h ) 和之后g) 的高分辨率场发射扫描电子显微镜图像。i,j) 设备电阻随拉伸循环的变化情况，直至弹性极限（600%），分别对应λ = 200 μm 和λ = 100 μm。在初始变化之后，电阻值开始趋于恒定。)

该假设通过场发射扫描电子显微镜（FEI Quanta 200 FEG）得以证实。在高分辨率场发射扫描电子显微镜下，铜晶粒的晶粒尺寸未发生变化，且未出现微米或纳米级裂纹形成（图3 g,h）。因此，金属线（以及完整器件）的电阻在整个实验过程中保持不变。此外，图3 a,b 中显示的电阻的轻微变化仅出现在最初的几次拉伸循环中。经过数次拉伸循环后，电阻变为恒定。特别是，在100次循环之后，电阻趋于一个恒定值（图3 i,j）。这主要是因为在最初的几次循环中，弹簧中的金属晶粒发生轻微的重新取向，以适应横向弹簧的扭曲。一旦金属晶粒“稳定”下来，弹簧和设备的电阻便几乎不随应变而变化。
作为蛇形铜互连的应用，我们报道了一种用于热疗应用的可拉伸热疗贴片。市售热敷贴的一个重要问题是其加热能力有限且有效工作时间较短。这一问题可通过使用电加热的柔性热疗贴片来克服。该热疗贴片通过将铜线焊接到2 × 20 mm² 接触垫上实现连接。由于接触引入的器件总寄生电阻测得为 0.05欧姆（占器件总电阻的≈0.6%）。热疗贴片采用恒压电源（安捷伦E3631A电源）驱动。设备的温度使用Optotherm Mirco热成像系统进行测量。该成像系统提供了被测物体各点的温度数值，用于生成温度彩色图（图4 c,d）。观察发现，在相同施加电压下，热疗贴片在空气环境中达到的温度高于在玻璃基板上的温度（图4 a,b）。这是预期的结果，因为空气仅通过对流方式对加热垫进行冷却，而玻璃基板除了顶部空气对流外，还通过玻璃基底传导热量，且具有更高的热容。

同时可以观察到，玻璃基板在特定施加电压下会逐渐升温至某一温度。从图4 a,b中值得注意的是，设备在开启后几秒内（<10 s）即达到饱和温度。这表明所报道的设备具有非常低的响应时间。为了测量在给定施加电压下玻璃基板的平均温度，我们定义了一个面积等于加热垫面积四倍的方形区域，以加热垫为中心作为一个单元。该单元可在二维方向重复排列构成完整的热疗贴片。因此，该单元的平均温度代表了整个贴片的平均温度。该单元区域的平均温度随电压的变化被绘制出来（图4 e,f），以获得加热垫在热负载（玻璃基板）条件下的热特性。

热疗贴片的设计使得加热垫上的铜线宽度（50 微米）分别为弹簧部分铜线宽度的一半和四分之一，对应λ = 100微米和 λ = 200微米的情况。此外，加热垫上的铜线设计尽可能延长其长度。因此，器件的大部分电阻集中在加热垫区域。这使得加热器上的耗散功率最大化，从而实现了最大化的加热效果。

在此设计下，测得加热器的总电阻为8.85欧姆（对于λ = 200微米，包含接触金属电阻）。加热垫与弹簧的电阻比分别计算为3.35和15.5。λ = 200 μm情况下较高的比值主要是因为铜线宽度较小：在 λ = 200 μm情况下为λ/4，而在λ = 100 μm情况下为λ/2；同时加热线路长度更长：在λ = 200 μm情况下为6.84 cm，而在λ = 100 μm情况下为1.48 厘米。因此，对于给定的电流，加热垫上耗散功率与总供电功率之比分别计算为0.92和0.69（对应λ = 200 μm和λ = 100 μm）。因此，在加热垫的散热性能方面，λ = 200 μm的设计被发现更加高效。

我们在一名知情同意的成年人体受试者身上测试了厚度为 λ = 200 μm的热疗贴片（符合机构生物伦理政策）。由于该热疗贴片厚度仅为8 微米，且具有较大的表面积，因此其表面积与重量比很大。因此，该贴片能够依靠范德华力轻易地附着在皮肤上。热疗贴片采用恒压直流电源供电，并使用 Optotherm Micro（一种用于温度分析的热成像显微镜）测量加热垫和皮肤的温度。热成像系统以数值数组的形式提供受试者的热图，用于分析温度升高和分布均匀性。研究发现，该热疗贴片可有效将人体皮肤加热至高于正常体温数摄氏度（图5 a,b）。此外，观察到加热效果不仅出现在加热垫下方区域，还扩展到了整个贴片区域。这一点是在关闭热疗贴片电源后立即测量皮肤平均温度时观察到的（图5 c）。我们报告了在整个设备区域内温度分布的非均匀性（σ/μ）为2.6%。因此，即使在150%的高应变下，该热疗贴片仍可在人体皮肤上实现均匀的温度升高。本研究中提出的可拉伸且柔性的热疗贴片在生物医学行业具有多种应用。该贴片可拉伸至原始尺寸的三倍，并可应用于人体任何部位，之后还可重复使用，用于热疗。

在实际应用中，无法使用有线的恒定电压电源，且携带进行热疗也不切实际。因此，一个实用的热疗贴片系统应具备无线功能，以实现便携性和易用性。此外，作为附加功能，热疗贴片应能通过智能手机等简单的日常设备轻松控制。为此，我们引入了一种可通过支持蓝牙的安卓智能手机进行无线控制的热疗贴片。该无线连接通过开源硬件模块Arduino Uno以及 Seeed Studio蓝牙扩展板实现。施加在加热器上的电压由 Arduino系统的一个输出端口的脉宽调制输出（PWM output）进行控制。图5 d展示了使用安卓智能手机对热疗贴片进行无线控制的两张图像。这些图像是视频中的截图，展示了通过手机对热疗贴片温度的控制过程（视频1，支持信息）。

基于安卓的温控系统也在人体受试者上进行了测试（视频2，支持信息）。然而，将现成的Arduino开发板及其蓝牙扩展板引入热疗贴片系统可能会使热疗贴片变得笨重且不灵活，从而限制了其作为通用自主便携式热疗解决方案的全部潜力。这一局限性可以通过我们先前工作中展示的基于沟槽保护剥离释放的可转化硅电子技术轻松克服，以制造类似于Arduino开发板中使用的柔性微控制器。因此，该工艺可用于获得完整的系统级解决方案。

热疗贴片便携性的另一个问题是来自恒压电源的供电。在此工作中，我们已经表明热疗贴片消耗的最大功率约为1.5瓦。因此，在最高工作温度下，热疗贴片可由容量为1000毫安时的商用纽扣电池（如松下CR2477）支持约2小时。电池可充电，从而使热疗贴片可重复使用。图5 d所示的热疗贴片控制采用开环控制系统，其中热疗贴片和控制软件已预先校准。这种控制机制可能导致热疗贴片温度控制的不准确性。为解决此问题，我们利用热疗贴片本身作为温度传感器。由于热疗贴片采用铜线进行加热，而铜的电阻随温度升高而增加，因此设备的电阻也随温度升高而增加。该电阻可通过热疗贴片在脉宽调制操作模式下消耗的电流轻松感应。

使用热卡盘探针台装置（Cascade Microsystems M150）测试了设备电阻的温度响应。将热卡盘设定在特定温度（每个温度保持5分钟以达到稳态），并向设备施加微小的感应电流，以测量设备电阻，同时避免其温度超过热卡盘温度。我们证明了热疗贴片可用作温度传感器，电阻的温度响应非线性为1.49%（图5e）。此外，温度传感器的灵敏度据报道为0.0308欧姆/°C⁻¹。我们得到铜的电阻温度系数（α）为0.00397 °C⁻¹，与文献中报道的值吻合良好。[ 53,54] 该温度反馈用于实现闭环控制系统，从而使热疗贴片的温度控制更加精确，使整个系统具有适应性。

在给定施加电压、尺寸和基底条件下的加热器温度时间响应。在指定时间后开启功率。c) 对于λ = 100微米的热疗贴片在不同施加电压下的温度彩色图谱：左上：0.5 V，左下：1 V，右上：1.5 V，右下：2 V。比例尺为2 毫米。d) 对于λ = 200微米的热疗贴片在不同施加电压下的温度彩色图谱：左上：1 V，左下：2 V，右上：3 V，右下：4 V。比例尺为2 毫米。e,f) 分别针对λ = 100微米和λ = 200微米的热疗贴片，其温度随施加电压以及对应消耗功率的变化关系。最高温度为在空气中和玻璃基板（负载）上测得的热疗贴片实际测量值。平均温度对应于定义为加热垫面积四倍的方形单位面积内温度读数的平均值。)

施加电压后60秒达到的最高和平均温度。平均温度是在关闭电源后立即针对整个热疗贴片区域计算的。b) 给定施加电压下皮肤温度的时间响应。功率在指定时间后开启。c) 不同条件下的皮肤温度彩色图谱：左上：初始状态，左下：1伏（60秒后），右上：2.75伏（60秒后），右下：在施加2.75伏60秒后刚关闭电源时。整个热疗贴片区域下的温度分布报告具有97.4%均匀性。比例尺为2 厘米。d) 使用安卓智能手机无线控制热疗贴片的两个图像。这些图像是来自视频的截图，展示了通过手机对热疗贴片温度的控制（视频1，支持信息）。e) 热疗贴片电阻随温度变化的情况。误差棒表示测量电阻和卡盘温度的最大值和最小值。f) 最终热疗贴片设计，配备柔性硅微控制器以实现无线温度控制，并使用纽扣电池作为电源。比例尺为2 厘米。)

最终的热疗贴片设计如图5f所示。我们的成本计算表明，这种自主系统的成本将在2到3美元之间，与其他现有解决方案或产品相比，显然是一种极具成本效益的方案。一块小型柔性硅片将用于容纳微处理器和其他通信设备，而一枚纽扣电池将为电子元件以及热疗贴片提供数小时运行所需的功率。最后，通过集成逻辑处理器和存储器，增加了持续监测患者、本地存储数据、将现场处理的数据传输至云计算平台并实现大数据分析等迫切需要的功能。最近，知名研究人员也在可拉伸系统方面取得了重要进展。[ 55,56]

我们通过采用光刻图案化机械结构设计克服了广泛使用的低成本金属薄膜铜（Cu）中存在的拉伸受限问题，该设计能够吸收形变能，实现800%拉伸性的同时保持其高导电性。我们将这一基础科学进步转化为几何和空间可调、易于使用、经济型热疗贴片，适用于人体各部位的热疗，并能完美共形贴合不规则皮肤轮廓以及炎症区域的不规则大小和形状。我们还表明，该热疗贴片可用作温度传感器，使其能够根据测得的炎症区域温度自适应调节治疗方案。网络与电池集成使系统具备自主性、便携性和适应性（可通过智能手机或移动设备实现精确温度控制）。最后，本研究在天然刚性的铜互连器件中实现了前所未有的拉伸性，为柔性与可拉伸电子器件这一新兴领域开辟了令人振奋的新机遇，并奠定了具备生命特征的智能、集成网络的电子系统的基础。