����ʵ������������DZ궨�� ׼ȷƥ������

���������ǡ������䶳�������¶ȷ�Χ��-80�ȵ�30�ȣ����������䶳�����¾��ȸߡ���Ʒ�����Ҷ�����ˮ���Һ����ѭ�����䣻���ù��似������֤����ʱ�¶ȵ��ȶ��ԣ�����ȫ�ܱ���ƣ���֤�䵼�Ƚ��ʵĴ��ȣ���ֹ��������ߵ���Һ����������ʵ������������DZ궨�� ׼ȷƥ������

����ʵ������������DZ궨�� ׼ȷƥ������

����ʵ������������DZ궨�� ׼ȷƥ������

�뵼�峧��ˮ���ڸ߷���������Ӧ�����������Ͽ��¶��ȶ��ԡ�����ɢ�Ⱥ��͸�ʴ��Ҫ�������������Ӧ�ó���������Ҫ�������

һ���߷����������µĵ���Ӧ��

1����ʴ������������ӿ�ʴ��

��Ƶ�糡����˲����£���ˮ�������ɢ����ά��ǻ���¶��ȶ��������ʴ���ʲ�����

2������ע��

���������������Բʱ����������������ˮ������ȴ���̺�������������ֹ�������˺Ͳ��Ӳ�����

3����ɢ������

¯���¶ȸ�ʱ����ˮ������ٴ�����������ֹ¯����Ȳ������¶Ⱦ����ԣ����⾧Բ����Ӧ��������

4����ѧ��е�׹���CMP��

�׹�Ħ�����������׵����׹�Һ�ӷ�����ˮ������ȴ�׹��ʹ���ϵͳ�����ٱ���ȱ�ݡ�

5����Ĥ������CVD/PVD��

��Ӧǻ����������������ȴ����ֹ����Ӧ;����в���ȴ���ӳ�������������Ĥ�����ԡ�

�����߷��ȿ��µļ����ѵ���������

1���߾����¿�

��ʵ��±0.5���¿ؾ��ȣ�ͨ���༶����ϵͳ�Ͷ�̬PID�㷨���ڡ�

2�����ٽ�������

���ֳ������ʱ����ʵ�ִ��²�£�����ѹ�������ʽ��������������Ч�ʡ�

3����������������

ѹ���������������ṹ�ɷ�ֹ�񶯸��Ź�̵ȹ��ա�

���ܻ�����Ч�Ż�

����ѹ���������͵����ͨ����ʵ�ֹ�·��ѹ����ѭ���л�;���ܼ��ϵͳ�����ܺġ�

������ˮ��ѡ��Ҫ��

1��������ƥ��

�����豸ɢ����ѡ���Դ�������������������������������������ػ��Ч���¿���ʧЧ��

2�����䷽ʽѡ��

�߹��ʳ�����ѡˮ��ʽ��Ч�ʸ������ռ����޲��÷���ʽ����Ч�ʽϵ�����

3�������빤��������

ѡ������������;

���ñ�Ƶѹ��������뵼�峧������׼��

�뵼�峧�߷��ȳ�������ˮ�����¿ؾ��ȡ�ɢ��Ч�ʵ�Ҫ���Ͽ������Ǻ��°뵼����ˮ��֧�ֶ�ͨ���¿أ����ǴӾ�Բ���쵽��װ����ȫ���̣����Ϲ��������ƻ�ѡ�͡�