����������ʽ������˾�׿�12Ӣ�����豸

    ���գ�����������ʽ������˾�׿�12Ӣ�����豸��ECP������Ausip T830�����豸רΪ��ͨ�ף�TSV��ͭ�����ƣ���ҪӦ����2.5D/3D�Ƚ���װ���򡣸ò�Ʒ��־�ű���������ʽ��������豸�г��������Ƚ���װ���򹹽��˰�����ʴ��ȥ����PVD��CVD����ơ�PIQ ����ϴ�豸�������������������

    �����Ϊ�������������PVD���ĺ�����գ����豸��PVD�豸Эͬ�������㷺Ӧ�����߼����洢�������������Ƚ���װ��оƬ���칤�ա��ڹ��������У�PVD�豸�����ڲ�/�����γ��Ѿ��㣬������豸����/��������޿�϶�������Ƚ���װ����ά���ɼ����Ŀ��ٷ�չ������豸��ȫ���г���ģ�Ѵ�ÿ��80-90��Ԫ����ң������ڼ������ţ�Ԥ��δ�����꽫ͻ�ư��ڴ�ء�

    ����������Ausip T830�豸ͻ����ʮ����ؼ�������չ���������ʵ�������豸���ø�����ܷ�͵绯ѧ����������ʵʱ�Ż�Ԥ��ʪ����Ʋ�����ʵ�ָ������TSV��䡣ͨ���Ż��糡��������ҩҺŨ�ȣ�ʹTSV�ڲ�����Ե��ͭ�������ȣ�����ȱ�ݣ����оƬ���ʺͿɿ��ԡ���˫��˫ǻ�ܹ���ͬʱ������Ƭ��Բ����߲��ܣ���ʡ�ռ䡣�������׺��ܷ�ṹ��ǿ�ȶ��ԣ�����ά���ɱ������ܲ�Һϵͳ�������Ӽ�������������ɫ���졣�豸֧��ģ�黯���ƺͺ��������������������������Ŀǰ�����豸�ĵ��Ĥ�����������ͻ�Ҫ���ܹ���Ч����ֱ��2-12΢�ף�����16-120΢�׵Ķ��ֿ��Ͳ�Ʒ��

    չ��δ�������������������Ƚ���װ��չ�Ļ����������Ӵ��з�Ͷ�룬�����ڴ����Ƚ���װ������������������ͬʱ������������������ͻ�������Ⱥ�������ͬ�ƶ��Ƚ���װ�����ķ�չ������оƬ��ҵ�����¸߶ȡ�