SIC知识--（7）：硅舟及碳化硅舟

01、硅舟是什么

硅舟是为扩散工艺设计的，由于硅舟和硅片均使用高纯硅材料，具有相同的物理性质，因此可以避免因为热膨胀系数和热导系数不同，造成的晶格错位，提升硅片良率。可替代现有的石英和碳化硅产品，代表的是高纯度高性能的技术。它对消除颗粒至关重要。消除这些影响以提高良率，使得硅熔接舟成为新一代集成电路架构中重要的载体。可用于卧式炉和立式炉。它是一种在半导体制造过程中广泛使用的材料，主要用于承载和处理硅片。硅舟有多种类型和应用，包括但不限于盒式硅舟、一体式硅舟、碳化硅舟等。

1. 盒式硅舟（cassette boat）是一种小型一体式硅舟，主要应用于4寸到6寸卧式高温炉，适用于1250℃以下的制程。它的材质为高纯硅产料，不存在表面沉积层，可以长期使用。
    

   

2. 硅舟还可以用于CVD工艺中，通过特定的设计，如天板、法兰和沟棒的组合，以及熔接槽的设计，克服了多晶硅沉积后不能循环使用的技术问题。

   

   
    

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