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第一期:射频放大器介绍
第二期:晶体管类别;BJT晶体管
本章概括
本章内容

本章将介绍晶体管部分
晶体管类别
主要讲解蓝框中的部分——晶体管。晶体管可以分为:
- Bipolar Transistor 双极性晶体管
- BJT(Bipolar Juction Transistor 双极结型晶体管)
- HBT(Heterojunction Bipolar Transistor 异质结双极晶体管)
- Field Effect Transistor(FET)场效应晶体管
- JFET(Junction FET 结型场效应晶体管)
- MOSFET(Metal Oxide Semi-conductor FET 金属-氧化物半导体场效应晶体管)做在Silicon上,用Oxide做隔离
- MESFET(Metal Semi-conductor FET 金属-半导体场效应晶体管)
- HEMT(High Electron Mobility Transistor 高电子迁移率晶体管)
- PHEMT(Pseudomorphic HEMT)它的截面不是真正的结晶,比HEMT性能更好
BJT
硅基BJT
横截面图
- 这是一个NPN型晶体管。
- BJT有三个电极:
- 基极B(Base)
- 发射极E(Emitter)
- 集电极C(Collector)
- 橙色部分代表基极,它的长度决定了晶体管的速度(相应地,宽度决定了电流大小)。
- 蓝色部分是集电极耗尽层(depletion layer),在这里带电载流子密度很低(因为是电子和空穴结合的区域)。
- P和N区之间会形成一个Junction(在图中是E级那边包着的一个镂空梯形,画了阴影线),中间有等效电容 C b e C_{be} Cbe。 C b e C_{be} Cbe是一个扩散电容,只是具有电容效应,不是真正存在的电容。 C b e C_{be} Cbe的表明能量的传递不完全依靠电子的移动,能量可以直接通过电容“漏”过去——位移电流。
公式: C b e = τ b g m C_{be}=\tau_b g_m Cbe=τbgm
其中 τ b \tau_b τb是电子在基极移动时的delaytime延迟时间, g m = 1 r e g_m=\frac{1}{r_e} gm=re1
所以也能写成: r e ⋅ C b e = τ b r_e\cdot C_{be}=\tau_b re⋅Cbe=τb(电容的时间常数公式)
这个公式就是用RC回路来模拟电子的延迟时间(和第三点对应,如果基极长度小,这个 τ b \tau_b τb会小,速度就越快) - b − e b-e b−e间的电流是 b − b ′ b-b^{'} b−b′间的电流的 1 + h f 1 1+hf1 1+hf1倍(我没听清楚这个“hf1”到底是怎么拼的,凑合一下。这东西基本就是模电的放大倍数)。如果扩散电容 C b e C_{be} Cbe漏电就会使射级损失很多电流。
- 电子要从N区进入P区,要有一个能级的跃迁,这一部分能量的消耗被等效为一个小电阻 r e r_e re(图中看起来是和等效电容并联着的)。
- 左侧电阻 r b b ′ r_{bb^{'}} rbb′是因为电子在移动时能量会持续地损失。真正的基极到
- C b c C_{bc} Cbc是真正的电容,是由于夹层而构成的电容。
- 最下层是集电极衬底(Collector Substrate),他最终能吸收来的电流并不是完全的 i e i_{e} ie, i e i_{e} ie有一部分漏到基极去了,所以集电极接受的电流是 α i e \alpha i_{e} αie(模电里面提过的 α \alpha α和 β \beta β两个系数,微波里喜欢用 α \alpha α, α < 1 \alpha<1 α<1)
俯视图
(能看到EB。C在底下看不到)
发射极伸入基极的部分,通过Emitter Width射级宽度和Emitter Periphery射级外围(也就是长度)形成了一个面积,这个面积决定了电流的大小。一般晶体管会给出多少电流每平方微米,单位是: m A / u m 2 mA/um^{2} mA/um2(就是电流密度)。
往往要让功率大,效率高,就要让电流密度大;要让电流密度大,就要让有效面积大。
这一张图其实是两个管子并联:
工程中要做到电流大,采用的是多个管子并联:  而不是一下子把面积做得很大,电流会不均匀。
封装示意图
教授举例了一些封装。 其中有的封装有多个Emitter引脚,弹幕说是一根射级不够走大电流。 并且如果是很大的级(就是字面意思,看上去很大),那一定是Emitter。
注意图中最上面红色的,是一种常见的封装。

平面朝自己,引脚依次是EBC。(美规的是这样的,日规的不太一样是ECB)
HBT
主要构成
这是一个“砷化镓”或“砷化铝镓”的异质结双极型晶体管(PNP)。它的极都是金属制的。其中基极做了对称,是为了便于并联使用。
射级与基板之间有一块相对突出的材料,被叫做 E m i t t e r M e s a Emitter\;Mesa EmitterMesa,即:“发射极台面”。这块 n + n^+ n+性的材料是 A l G a A s AlGaAs AlGaAs; p p p性的基极材料使用的是 G a A s GaAs GaAs。它们之间形成了一个接面,称为
A l G a A s / G a A s H e t e r o j u n c t i o n AlGaAs/GaAs\;Heterojunction AlGaAs/GaAsHeterojunction 砷化铝镓/砷化镓异质结
最后的基底是半绝缘砷化镓基底。
制作方法
可以看到 l a y e r layer layer都是一层接一层的,采用的是蚀刻的制作工艺。
HBT的制作精度要求很高,中间的层厚度要控制的很精确;同时由于 G a A s GaAs GaAs等原料也更贵,所以HBT要比BJT贵很多。(但我不知道现在怎么样了)
常用材料组合
| 射级(Emitter)材料( n + n^+ n+) | 基极(Base)材料( p p p) | 衬底(Substrate)材料 |
|---|---|---|
| A l G a A s AlGaAs AlGaAs | G a A s GaAs GaAs | G a A s GaAs GaAs |
| I n A l A s InAlAs InAlAs | I n G a A s InGaAs InGaAs | I n G a A s InGaAs InGaAs |
| I n G a P \color{red}{InGaP} InGaP | G a A s \color{red}{GaAs} GaAs | G a A s \color{red}{GaAs} GaAs |
| S i \color{blue}{Si} Si | S i G e \color{blue}{SiGe} SiGe | S i G e \color{blue}{SiGe} SiGe |
其中,第三行标红的是应用最广泛的;第四行标蓝的组合性能也不错,价钱也稍微低一些。
MMIC布局
- (Emitter contact)最中间的是金属材质的电极;
- (Emitter mesa)射级电极紧贴着射级台面;
- (Base pedestal)射级台面长在基极基板上;
- (Base contact)同时基极电极也在基极基板上;
- (Collector contact)集电极电极独立于基极基板;
- (Isolation implant)最终所有东西都要被隔离外围隔离起来(用粒子把晶格破坏使其丧失导电性——就是前一张图中的Implantation damage离子注入损伤)
教授顺便提到说substrate最好也是绝缘的。如果它导电,有电阻,是lossy的,电磁波通过它被吸收消耗掉,损失功率。不过往往在生产中不做绝缘的,成本很高(田教授经典结论:老板不乐意)。
HBT vs Si BJT
-
相同点:都是纵向电流,且是双载流子(电子、空穴)。
-
不同点 BJT HBT 分析 BE接面 同质(Silicon) 异质 基极掺杂 5 × 1 0 8 c m − 3 5\times10^8\;cm^{-3} 5×108cm−3 > 4 × 1 0 9 c m − 3 >4\times10^9\;cm^{-3} >4×109cm−3 r b ′ e o r r e r_{b^{'}e}\;or\;r_{e} rb′eorre U T i b ( 常温下百 Ω 级 ) o r U T i e ( 常温下 Ω 级 ) \frac{U_T}{i_b}(常温下百\Omega级)\;or\;\frac{U_T}{i_e}(常温下\Omega级) ibUT(常温下百Ω级)orieUT(常温下Ω级) l o w e r lower lower 掺杂高,能障低,速度快 v s a t ( e − ) v_{sat}(e^-) vsat(e−)(电子饱和速度) 0.7 × 1 0 7 c m / s 0.7\times10^7\;cm/s 0.7×107cm/s > 2 × 1 0 7 c m / s >2\times10^7\;cm/s >2×107cm/s HBT3倍左右,更快 G a i n ( g m ) Gain(g_m) Gain(gm) i c U T \frac{i_c}{U_T} UTic h i g h e r higher higher HBT高增益更适合功放 基极厚度 0.1 μ m 0.1 \mu m 0.1μm(对BJT来说能障高,厚度再降收益也不高) 0.06 μ m 0.06\mu m 0.06μm 基极厚度越薄速度越快 f T f_T\; fT(电流增益降至1的频率) f T = g m 2 π C b ′ e f_T=\frac{g_m}{2\pi C_{b^{'}e}} fT=2πCb′egm h i g h e r higher higher Substrate 基板材料 L o s s y (阻性 = 有损耗) Lossy(阻性=有损耗) Lossy(阻性=有损耗) H i g h r e s i s t a n c e (高阻 = 不导电) High\;resistance(高阻=不导电) Highresistance(高阻=不导电) HBT没有导电损耗

本文深入探讨晶体管的工作原理及关键特性,包括BJT与HBT的结构、制造工艺及参数对比。解析了晶体管的小信号模型、大信号模型,并介绍了其在射频放大器中的应用。
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